电机介绍:
AWM系列电机采用无铁芯技术,属于无铁芯直线电机,具有真空兼容,无齿槽力,较大的持续推力和峰值力。
持续推力 Fcn =4.5N ~ 414.8N
峰值推力 Fpk =22.3N ~ 2986.3N
产品特色:
真空兼容 (RGA测试,高达1x10 Torr)
无铁芯技术,无齿槽力
高持续推力和峰值力
高电机常数
多线圈长度可选
应用工况:
适用于点到点微米级和纳米级快速定位,可满足5m/s甚至更高速度,行程不受限,高/低速速 度波动苛刻工况,精准力控制。
典型案例:前道/后道晶圆搬运及检测设备、玻璃及液晶面板,生物医疗设备有真空要求场合, 同时可满足高速高精定位、轨迹跟随或速度控制苛刻各类检测需求。