紧凑型设计; 直驱技术; 无齿槽扭矩; 高精度光学编码器 ;可叠加使用
XY中空设计,厚度低 XY行程100*100mm XY十字叠加结构,内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨 XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5um,绝对定位精度2um 典型应用领域:精密零件组装/检测、光学对准、全自动显微镜
AMS55
产品用途:适用于光学聚焦,高速取放,力控制应用
XYZ有效行程300*300*150mm ; XY轴龙门双驱结构,底部两个直线电机同步控制 ; XYZ集成高精度光栅尺,重复定位精度±1um
高精密直线电机运动平台