直线电机是适用于洁净室的，事实上，许多前端半导体应用都使用直线电机。如：在晶圆制造工厂，高精度光刻机放置在在等级为10的洁净室里，直线电机应用于其中XY定位平台，使用纳米分辨率来实现亚微米级精度。

直线电机越来越受欢迎在更多的应用领域中，直线电机也应用在其它领域中，如半导体后端包装、测试、拾取与放 置、硬盘的装配与测试等等，许多应用都是在洁净室里。

在洁净室里，相比较传统的滚珠丝杠驱动，直线电机的优势：驱动机构没有接触。因此没有磨损而导致粒子生成。直线电机不需要润滑剂。润滑剂也是污染源。

并且，在一些应用中，担心直线电机磁场会破坏敏感的组件。一般来说，在一些应用中，推荐使用无铁芯直线电 (AUM)， AUM电机磁轨的磁场是闭合的，磁通量外泄的基本可以忽略不计。

对于有铁芯直线电机（如ACM），在磁轨50-60  mm的范围内会有磁场，磁场强度会随着距离的增加而衰减，而且特定区域的磁场是恒定的，不会产生射频干扰。