气浮转台
核心组件：
电机：作为动力源，驱动转台旋转，通常采用无框力矩电机。
气浮轴承系统：通过高压气体在转台底部形成空气垫，实现无接触支撑，减少摩擦。
光栅及读头：检测并反馈回转角度，是实现高精度定位精度、重复定位精度、静态抖动的基础。
回转台面或Chuck：实现极小端面跳动&径向跳动的支撑安装面，其平面度&平行度会直接影响最终的跳动值。
气浮轴承的结构分类
根据支撑方式可分为：“工”字形、“十”字形、锥形。
其中，“工”字形和“十”字形承载能力大，但结构件数量多、整体尺寸更高；锥形结构简单、高度尺寸小，但相应的承载能力和气浮刚度低。
气浮转台的优势
相比于机械转台，气浮转台的优势为：
轴线径向、轴向跳动，摆动图示
■ 无摩擦运动
气浮轴承支撑消除机械接触，减少磨损，延长使用寿命。
■ 随机位置坐标触发
轴向/径向回转精度＜±20nm，定位精度＜±1.1arcsec，双向重复定位精度＜±0.1 arcsec，静态抖动＜±0.3arcsec，摆动＜0.5arcsec。
*（此为特定条件下的样机测试精度，具体欢迎咨询我们的技术专家。）
■ 低振动与噪声
气浮技术显著降低运动中的振动干扰，适用于超精密环境。
应用场景
■ 半导体工业：
晶圆切割、晶圆检测、晶圆研磨/减薄设备；
■ 光学制造与检测：
工业CT、激光加工、光纤对准、超精密车床、五轴加工中心、激光反射镜等元件的精密加工与角度标定；
■ 精密测量：
光学轮廓仪、圆柱度仪、结合多轴运动台实现三维空间内的高分辨率位移检测；
■ 科研实验：
如量子计算设备中的超低温环境运动控制，或材料力学性能测试；
■ 航空航天：
航空发动机叶片加工与检测、卫星姿态控制测试、惯性导航设备测试及校准等；
■ 医疗：
CT、MRI医疗影像设备中，气浮转台用于承载和旋转扫描部件。
AAR系列气浮转台
关键技术指标：
1. 轴线&径向回转精度：
AAR150、AAR200轴线&径向回转精度＜0.1μm；
AAR250、AAR300轴线回转精度＜0.1μm，径向回转精度＜0.25μm。
2. 角摆：
AAR150角摆＜2arcsec；
AAR200角摆＜0.7arcsec；
AAR250、AAR300角摆＜0.5arcsec。
3. 定位精度&重复定位精度：
