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雅科贝思气浮转台AAR200-A系列:优秀的定位精度和低速波动
日期:2024-02-08 16:57

气浮转台的原理及特点


气浮转台是一种集成了直驱电机、编码器、采用气浮轴承来实现旋转运动的产品。它通过向轴承腔体输入压缩空气,由节流高压空气产生的气膜将工件支撑起来,气膜具有一定刚性及负载能力,从而支撑转台台面悬浮及旋转运动,同时保障轴系的轴向、径向跳动精度。相比于传统的机械转台,它具有更高的稳定性和更精确的定位精度

以下是某种气浮轴承的原理示意图。通过外部气源供给压力,气体经过节流器进入轴承间隙,然后连续地从轴承外缘排入大气。

从轴承外缘排入大气_看图王.jpg

雅科贝思气浮转台


雅科贝思已推出标准品AAR200-A气浮转台,台面直径为200mm,总高度90mm。其“矮胖”的身材可以有效降低系统的高度,并且尽可能减少堆叠误差,中孔设计方便线缆或真空管道通过。


1712744503465280.jpg

经过测试该转台具有低速度波动,优秀的轴系回转精度以及非常好的的定位精度。

 AAR200-A

绝对定位精度

(补偿后) (arc sec)

样机实测:±0.53

指标:±2

重复定位精度

(arc sec)

样机实测:±0.402

指标:<±0.5

轴向回转精度

 (nm)

样机实测:41.6

指标:<100

径向回转精度

 (nm)

样机实测:97.3

指标:<100

速度波动

样机实测0.064%@300rpm

静态抖动 

(arc sec)

样机实测: 0.369

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雅科贝思气浮转台的优点与应用场景


01 采用气体静压气浮技术,和动压技术比,它承载力和刚度更大,稳定性更易控制

02 气浮轴承的气体粘度低、摩阻低、振动噪音小

03 气浮轴承无需润滑油,实现了免维护,并且 清洁无污染、寿命久

04 气浮转台通常采用无铁芯直驱旋转电机,因此无齿槽效应,能实现高定位精度、运行阻尼小、高速度稳定性等特点。

05 轴系的轴向和径向回转精度可达到纳米级别,同时具有非常优秀的绝对定位精度和重复定位精度


应用场景:


 光  学 :光学检测、光通信、光学对准、激光精密加工

 测  量 :三坐标检测仪、测角仪、柱状体三维形貌检测、偏心仪、圆度仪

 装  配 :精密同心装配、装夹

半导体:晶圆检测、晶圆对准、研磨机/减薄机

 其  他: 科研院校

针对不同应用领域和客户需求,我们还将陆续推出其他标准型号,同时也可接受客户定制需求


高精密气浮转台以其高稳定性、高精度、低维护等优点,正成为精密测量和精密加工领域的重要选择。雅科贝思气浮转台更是凭借其卓越的性能和应用广泛的标准品以及灵活的定制服务,赢得了客户的广泛认可。

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