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XRZ系列
XRZ系列为气缸配重水平Z轴,模组安装面水平设计,音圈电机推动整个台面在Z向升降。通过气缸平衡负载重力,减少所需的电机出力。搭配高精度光学编码器,提高模组的精度参数。
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技术参数
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设计特点:

A. 高精度、低摩擦

B. 防蠕动交叉滚子导轨

C. 音圈电机

D. 气平衡设计

E. 高精度光学编码器

      

电机参数单位XRZ120-15XRZ170-25XRZ190-30
电机型号-AVM30-HF-15AVM60-25AVM75-38-C39
持续推力N17.9626.3545.26
峰值推力N98.8119.0192.02
力常数 ±10%N/A24.717.013.72
反电势常数 ±10%Vpeak/(m/s)24.717.013.72
机械参数单位XRZ120-15XRZ170-25XRZ190-30
行程mm152530
分辨率μmSINCOS(4096X)SINCOS(4096X)SINCOS(4096X)
重复定位精度μm±0.2±0.2±0.2
水平直线度μm±0.5±0.75±0.75
垂直直线度μm±0.75±1.0±1.0
俯仰角arcsec10.010.010.0
横摆角
arcsec10.010.010.0
额定负载kg5.015.020.0
空载运动质量kg1.33.64.8
空载总质量kg3.39.812.6
材料-黑色阳极氧化铝黑色阳极氧化铝黑色阳极氧化铝
最大容许侧倾力矩Nm1.58.08.0
最大容许俯仰力矩Nm1.57.57.5
最大容许横摆力矩Nm1.57.57.5

注:

★所有测量数据基于模组安装在5μm大理石台面上。

   所有测量数据基于雅科贝思测量标准。



XRL120-15

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XRL170-25

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XRL190-30

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