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激光微加工平台
采用EtherCAT总线通信，可对振镜控制器和伺服轴控制器进行灵活扩展，适用于多轴、多振镜等应用场景，满足微米级激光加工对高速高精的要求。能实现振镜与运动平台联动控制，突破了振镜扫描的视野限制，可对大范围的加工图形进行连续扫描加工，减少了传统的图形拼接过程。
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方案特色：

A.高精密直线电机运动平台，闭环光栅尺控制

B.振镜与平台同步控制

C.振镜实时补偿平台跟随误差，实现高速高精度扫描

D.激光脉冲位置同步输出功能（PSO）

E.优化轨迹规划算法，实现更大的加工效率

F.采用EtherCAT通信网络，更大支持32轴

G.支持人机界面软件定制

H.支持G代码控制

I.相机辅助自动定位，在线测量


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