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中空XY 晶圆检测平台
XY中空设计 XY行程288mm*288mm XY十字叠加结构,内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨 XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5um,绝对定位精度2um
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产品特性:

XY中空设计

XY行程288mm*288mm

XY十字叠加结构,内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨

XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5um,绝对定位精度2um

典型应用领域:4/6/8寸晶圆检测


*如需详细参数,请联系雅科贝思销售工程师(邮箱:cust-service@akribis-sys.cn)

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