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TGS-XY 系列
TGS-XY下轴使用三根导轨达到更好的性能,支持更长长行程的上轴。使用定制的带气管紧凑排线,是半导体行业的理想选择。
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技术参数
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设计特点:

A. 三轨堆叠XY平台 

B. 下轴使用三根导轨,支持更长长行程的上轴

C. 使用定制的带气管紧凑排线


参数规格单位LU
电机型号-AUM5-S3AUM4-S3
持续推力N295166
峰值推力N2122936
力常数 ±10%N/Arms117.972.0
反电势常数 ±10%Vpeak/(m/s)96.358.8
有效行程mm500500
分辨率μm0.5/0.1/SINCOS0.5/0.1/SINCOS
重复定位精度μm±2/±1±2/±1
直线度μm±10±10
平面度μm±10±10
额定负载kgNA20
空载运动质量kg407
空载总质量kg370370
最大静态力矩NmNA10
注:
此参数表是此种类型平台典型值。
请联系我们获取更多选项。
特殊环境要求,可定制,请联系cust-service@akribis-sys.cn。


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