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标准直驱模组-微型模组
紧凑型直驱定位平台, 行程10/15/20mm可选,其他行程可定制, 可灵活组合,叠加成XY或搭配AMR/AMZ叠加成XYT或XYZT平台
AML
紧凑型直驱定位平台, 行程10/15/20mm可选,其他行程可定制, 可灵活组合,叠加成XY或搭配AMR/AMZ叠加成XYT或XYZT平台
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持续推力:2.3N-9.6N
峰值推力:6.9N-28.8N
直驱,紧凑型设计,行程15mm,其他行程可定制,内置光栅尺,重复定位精度可达±0.3μm,分辨率可选0.2μm、0.05μm、SINCOS,可灵活组合,叠加成XY或搭配AMR叠加成XT或XYT平台
AMS
直驱,紧凑型设计,行程15mm,其他行程可定制,内置光栅尺,重复定位精度可达±0.3μm,分辨率可选0.2μm、0.05μm、SINCOS,可灵活组合,叠加成XY或搭配AMR叠加成XT或XYT平台
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持续推力:4.6N
峰值推力:8.4N
紧凑型直驱Z轴定位平台,行程8mm,其他行程可定制,内置光栅尺,重复定位精度可达±0.2μm,可灵活组合,搭配AMS/AML或AMR叠加成XZ、XYZ或XYZT平台,内置气缸配重
AMZ
紧凑型直驱Z轴定位平台,行程8mm,其他行程可定制,内置光栅尺,重复定位精度可达±0.2μm,可灵活组合,搭配AMS/AML或AMR叠加成XZ、XYZ或XYZT平台,内置气缸配重
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持续推力:4.43N
峰值推力:28.2N
微型直驱旋转定位平台, 可灵活组合,搭配AMS或AML叠加成XT或XYT平台
AMR
微型直驱旋转定位平台, 可灵活组合,搭配AMS或AML叠加成XT或XYT平台
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持续转矩:0.13N-0.2N
峰值转矩:0.51N-0.79N