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XYZ微型显微镜平台
XY轴为直线电机,集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.75um Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构,光栅尺 反馈,重复定位精度±0.5um
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XYZ微型显微镜平台 

产品特性:

XY轴为直线电机,集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.75um

Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构,光栅尺

反馈,重复定位精度±0.5um

典型应用领域:

8寸,12寸晶圆检测

*如需详细参数,请联系雅科贝思销售工程师(邮箱:cust-service@akribis-sys.cn)

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