2025年3月26日，备受瞩目的SEMICON上海半导体展会在上海新国际博览中心盛大举行。作为全球领先的精密运动控制解决方案供应商，雅科贝思携其尖端超高精度产品亮相展会，吸引了众多行业专家和客户的目光。

采用无铁芯直线电机，实现极低的速动波动，确保运动的平稳性。该平台重复定位精度高达±0.3μm，满足纳米级精度需求。专为真空环境设计，其低释气特性，可适应10e-5Pa的严苛真空条件，有效保障半导体制造过程中的洁净度和稳定性。广泛应用于晶圆膜厚线宽量测、Micro LED检测等高精度应用领域。

该平台提供地面-晶圆一体化集成解决方案，有效消除外部振动干扰，确保测量和生产过程的精度与稳定性。其高刚性结构和快速整定特性，尤其适用于晶圆生产控制应用、关键尺寸检查以及套刻误差检测等高精度需求领域

平台内置无铁芯直线电机，实现精准快速的运动控制，确保卓越的动态性能和快速整定。紧凑的机械设计，在极小的空间内实现了四自由度（Z,Rx,Ry,Rz）运动，为客户节省宝贵的空间。平台卓越的定位精度（重复定位精度0.25μm）和极佳的平面度与直线度（±1μm）成为半导体检测领域的理想选择，广泛应用于电子束晶圆缺陷检测、关键尺寸检测、AOI检测等高精度应用。