音圈电机
在半导体制造、高速拾取和放置以及生物医学等具有挑战性的应用中， 短距离、精准定位、精确力控制、快速响应至关重要。尽管传统的滚珠丝杠和丝杠型轴承是常见的选择，而音圈电机往往被忽视，但实际上它们以具有竞争力的成本提供了高精度和可重复的小位移，尤其在特殊环境下表现优异。本文将以雅科贝思的产品为例，探讨音圈电机的优势。
音圈电机的优势是什么？
音圈电机的设计简单紧凑，由磁性外壳和线圈组成，采用单极设计，无需换相。这种设计使得它的电压极性和电流控制变得非常容易。此外，音圈电机具有低迟滞、低电感和质心移动质量，这使得它们能够实现高速度和高加速度。
音圈电机可以应用在哪些行业？
半导体制造：音圈电机非常适合短距离移动。在光刻过程中，它们能够实现快速而精确的运动，控制振动以及调整光学元件的焦距。此外，音圈电机的高速度特别适合于板和线的粘合及拾取设备。一些雅科贝思的音圈电机甚至可以实现高达200g的加速度。相比于滚珠丝杠，许多音圈电机能够在真空和洁净环境中稳定运行，避免气体泄漏和污染。
生物医学设备：对于生物医学设备设计师而言，音圈电机提供了比传统伺服电机更高的精度，且成本更低。紧凑设计满足体积日益缩小的设备需求，同时低迟滞特性使得它们在分配轻质材料方面表现出色。结合编码器使用时，音圈电机能够实现亚微米级的高精度力和位置控制。
自动化生产：音圈电机在半导体制造中的高速性能同样使其适用于自动化应用，如拾取和放置、进料以及需要精确镜头自动对焦的检测任务。
激光微加工：激光振镜的Z轴可以利用音圈电机来精确调节激光束在Z方向的位置，从而实现高效的激光加工和成型。通过音圈电机，系统可以快速地调整激光焦点的位置，以适应不同材料的厚度和表面特性，应对各种复杂的加工任务，例如切割、雕刻和打标等。
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在雅科贝思，高性能音圈电机涵盖多种尺寸和力密度。这些设备利用永磁直接驱动电机技术，提供了高功率质量比、高加速度和快速响应，几乎没有滞后和齿槽效应。此外，由于线圈与磁钢不接触，音圈电机的磨损几乎可以忽略不计，降低长期使用中的维护成本。客户可以选择我们的AVM系列标准圆柱形音圈电机或AVA系列紧凑设计的方形音圈电机，这两款产品拥有极具竞争力的性价比，能够帮助客户在提高性能的同时控制预算。
对于需要高连续峰值力的应用，雅科贝思可提供配备无刷AVM音圈电机的平台模组。这些模组能够在紧凑的单元中提供卓越的刚度、快速加速和快速沉降，并实现高精度、高响应、高刚性和高稳定性。
雅科贝思也可以根据客户的需求定制音圈电机，甚至可以集成高精度的力反馈传感器。音圈模组也可以配备交叉滚子轴承（CRB），确保亚微米级的分辨率。
