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无铁芯直线电机在半导体制造业的应用
日期:2022-11-25 14:39

伴随半导体在计算机、互联网、手机等各领域的应用,我们进入了大数据和人工智能的新时代。

然而,半导体组件的制造是⼀个非常复杂的过程,它需要 配套纳米级芯片制程关键量测检测设备,提升良率,此外,高端芯片检测、量测设备需要在高真空环境下长期保持高精定位,以防止制造过程中的任何颗粒污染或不需要的化学反应,这对真空电机的要求极高。


关键挑战—释气

在真空环境中工作的主要挑战之⼀是“ 释气”,这是真空应用中的⼀个关键因素。释气是指通过蒸发、解吸或渗入将已溶解、吸收或捕获的气体释放到真空环境中,进而影响设备腔体的真空环境。这意味着随着时间的流逝,释气持续发生,所以必须有效地提高抽速以保持⼀定的真空度。此外,在释气过程中释气产物可能会凝结在表面上造成污染。


无铁芯电机—AWM系列

雅科贝思研发设计的真空兼容无铁芯直线电机⸺ AWM 系列 ,可在低至 10^-7 torr真空压力的高真空条件下使用 。AWM 系列的线圈和磁轨均由真空兼容材料制成  ,这些材料经过特殊选择和单独测试 ,以确保每种材料都满足释气和 RGA 要求 。同时 ,雅科贝思在生产制造过程中 ,采用特殊的真空工艺 ,确保 AWM 系列电机生产制造的每个环 节都在严格地管控环境中 ,以防止在过程中吸收气体。

 

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此外 ,为了满足真空需求以及高无尘洁净等级 ,达到最 大限度地减少污染 、清洁电机和运输前的双重真空包装的目 的 ,雅科贝思真空电机的搬运 、运送 、包装等流程都有着特 殊的要求 ,包括使用适用于真空的材料 、工具和设备等。


AWM电机优势及应用  

AWM系列有多种尺⼨可供选择 ,持续力范围从4 .5N到769N ,可满足不同应用。

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真空平台(AWM电机集成)

此平台为叠加XY结构,真空度可满足 10^-7 torr。

平台使用支持真空环境的无铁芯直线电机,真空导轨以及真空光学编码器;静态抖动低至 +/ -5 n m ,可提供定制 化磁屏蔽设计。

主要应用于前端/ 后端晶圆缺陷及关键尺⼨检测 、电子束光刻等。

 

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图:真空平台3D模型


真空电机定制服务

雅科贝思以其前瞻性,长期以来对于真空适应性电机投入大量研发资源,目前已拥有成熟的工艺及先进的配套生产、测试设备。

除上述AWM系列的无铁芯直线电机外,雅科贝思接受其他类型电机的真空版本定制,包括直线电机,直驱旋转电机(DDR ),音圈电机(VCM)。


关于Akribis

Akribis于2004年8月成立于新加坡,致力于设计生产用于制造、检测和测试的直驱电机、平台和精密系统方案,在半导体、太阳能、平板显示、硬盘、LED、印刷电路板、印刷、光学以及生物医药等广泛的工业领域中提供专业的支持。

Akribis在新加坡、马来西亚、韩国、中国的上海、南通和东莞均设有生产基地;其销售网络遍布全球,在美国、日本、德国、泰国、马来西亚、以色列等多个国家和地区成立了海外销售办公室,以便增进亚洲、欧洲和北美洲的全面分销渠道。

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