设计特点：
A. 堆叠XY平台
B. 高速，高加速
C. 高精度，高刚性
D. 圆晶平台
E. 无齿槽力
| PGS-XY | |||
| 参数规格①② | 单位 | 精度等级 | |
| P | UP | ||
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.3 | ±0.3 |
| 定位精度 (补偿后) | μm | ±0.5 | ±0.5 |
| 平面度 | μm | 5 | 5 |
| 总直线度 | μm | 7.5 | 7.5 |
| 局部直线度 | μm/cm | ±1 | ±1 |
| 俯仰 | arcsec | 20 | 20 |
| 俯仰重复性 | arcsec | ±0.5 | ±0.5 |
| 偏摆 | arcsec | 20 | 20 |
| 偏摆重复性 | arcsec | ±0.5 | ±0.5 |
| 最小步进 | nm | 80 | 20 |
| 典型静态抖动③ | nm | ±20 | ±5 |
| 编码器 | |||
| 信号周期④ | μm | 20 | 4 |
| 编码器类别 | - | 光学 | 光学 |
| 输出信号 | - | SINCOS | SINCOS |
| PGS-XYB4742P-U61U57-XXX⑤ | |||
| 机械参数 | 单位 | 数值 | |
| 下轴 | 上轴 | ||
| 宽 | mm | 876 | |
| 长 | mm | 900 | |
| 高(包括拖链) | mm | 277 | |
| 高(安装面) | mm | 185 | |
| 总有效行程 | mm | 470 | 420 |
| 总质量 | kg | 160 | |
| 输出力 | 单位 | 下轴 | 上轴 |
| 峰值推力 | N | 3744 | 1560 |
| 持续推力 | N | 662 | 276 |
| 注： ①测试工况无负载。测试高度距上轴安装面200mm。 ②参数为单轴 （例如： X 和 Y 轴）。 ③高性能直流驱动器。截止频率 = 1kHz。 ④更高精度编码器可定制。 ⑤PGS-XYB4742P-U61U57-XXX的机械尺寸。 ★除了适用于标准环境的运动平台，雅科贝思也提供适用于超高真空 （10-7 Torr），带磁屏蔽的高精度运动平台。请联系cust-service@akribis-sys.cn。 | |||
