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PGS-XY 系列
PGS-XY特点:堆叠XY平台;高速,高加速;高精度,高刚性;无齿槽力
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技术参数
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设计特点:

A. 堆叠XY平台

B. 高速,高加速

C. 高精度,高刚性

D. 圆晶平台

E. 无齿槽力


PGS-XY
参数规格①②单位精度等级
PUP
双向重复定位精度μm±0.3±0.3
定位精度 (补偿后)μm±0.5±0.5
平面度μm55
总直线度μm7.57.5
局部直线度μm/cm±1±1
俯仰arcsec2020
俯仰重复性arcsec±0.5±0.5
偏摆arcsec2020
偏摆重复性arcsec±0.5±0.5
最小步进nm8020
典型静态抖动nm±20±5
                               编码器
信号周期μm204
编码器类别-光学光学
输出信号-SINCOSSINCOS




PGS-XYB4742P-U61U57-XXX
机械参数单位数值
下轴上轴
mm876
mm900
高(包括拖链)mm277
高(安装面)mm185
总有效行程mm470420
总质量kg160
输出力单位下轴上轴
峰值推力N37441560
持续推力N662276
注:
测试工况无负载。测试高度距上轴安装面200mm。
参数为单轴 (例如: X 和 Y 轴)。
高性能直流驱动器。截止频率 = 1kHz。
更高精度编码器可定制。
PGS-XYB4742P-U61U57-XXX的机械尺寸。
除了适用于标准环境的运动平台,雅科贝思也提供适用于超高真空 (10-7 Torr),带磁屏蔽的高精度运动平台。请联系cust-service@akribis-sys.cn。


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