设计特点:
A. 堆叠XY平台
B. 高速,高加速
C. 高精度,高刚性
D. 圆晶平台
E. 无齿槽力
PGS-XY | |||
参数规格①② | 单位 | 精度等级 | |
P | UP | ||
双向重复定位精度 | μm | ±0.3 | ±0.3 |
定位精度 (补偿后) | μm | ±0.5 | ±0.5 |
平面度 | μm | 5 | 5 |
总直线度 | μm | 7.5 | 7.5 |
局部直线度 | μm/cm | ±1 | ±1 |
俯仰 | arcsec | 20 | 20 |
俯仰重复性 | arcsec | ±0.5 | ±0.5 |
偏摆 | arcsec | 20 | 20 |
偏摆重复性 | arcsec | ±0.5 | ±0.5 |
最小步进 | nm | 80 | 20 |
典型静态抖动③ | nm | ±20 | ±5 |
编码器 | |||
信号周期④ | μm | 20 | 4 |
编码器类别 | - | 光学 | 光学 |
输出信号 | - | SINCOS | SINCOS |
PGS-XYB4742P-U61U57-XXX⑤ | |||
机械参数 | 单位 | 数值 | |
下轴 | 上轴 | ||
宽 | mm | 876 | |
长 | mm | 900 | |
高(包括拖链) | mm | 277 | |
高(安装面) | mm | 185 | |
总有效行程 | mm | 470 | 420 |
总质量 | kg | 160 | |
输出力 | 单位 | 下轴 | 上轴 |
峰值推力 | N | 3744 | 1560 |
持续推力 | N | 662 | 276 |
注: ①测试工况无负载。测试高度距上轴安装面200mm。 ②参数为单轴 (例如: X 和 Y 轴)。 ③高性能直流驱动器。截止频率 = 1kHz。 ④更高精度编码器可定制。 ⑤PGS-XYB4742P-U61U57-XXX的机械尺寸。 ★除了适用于标准环境的运动平台,雅科贝思也提供适用于超高真空 (10-7 Torr),带磁屏蔽的高精度运动平台。请联系cust-service@akribis-sys.cn。 | |||