设计特点：
A. 堆叠XY平台
B. 高速，高加速
C. 高精度，高刚性
D. 圆晶平台
E. 无齿槽力
| 电机参数 | 单位 | L | U | ||
| 电机型号 | - | AUM4-P-S6×2 | AUM4-P-S5 | ||
| 持续推力(自冷) @100ºC① | N | 662 | 276 | ||
| 峰值推力 | N | 3744 | 1560 | ||
| 力常数 ±10% | N/Arms | 72 | 60 | ||
| 反电势常数 ±10% | Vpeak/(m/s) | 58.8 | 49 | ||
| 相间电阻 @25ºC ±10%② | Ω | 6.61 | 5.53 | ||
| 相间电感 ±20%③ | mH | 5.75 | 4.79 | ||
| 持续电流(自冷) @100ºC① | Arms | 4.6 | 4.6 | ||
| 峰值电流 | Arms | 26 | 26 | ||
| 最高母线电压 | Vdc | 330 | 330 | ||
| 电磁周期 | mm | 60 | 60 | 60 | |
| 机械参数④⑤ | 单位 | L | U | ||
| 精度等级 | - | P | UP | P | UP |
| 有效行程 | mm | 300/350/400/450 | 300/350/400/450 | ||
| 分辨率 | μm | SINCOS | SINCOS | ||
| 重复定位精度 | μm | ±0.3 | ±0.3 | ||
| 平面度 | μm | 5 | 5 | ||
| 总直线度 | μm | 7.5 | 7.5 | ||
| 局部直线度 | μm/cm | ±0.1 | ±0.1 | ||
| 俯仰 | arcsec | 20 | 20 | ||
| 俯仰重复性 | arcsec | ±0.5 | ±0.5 | ||
| 横摆 | arcsec | 20 | 20 | ||
| 横摆重复性 | arcsec | ±0.5 | ±0.5 | ||
| 最小步进 | nm | 80 | 20 | 80 | 20 |
| 典型静态抖动⑥ | nm | ±20 | ±5 | ±20 | ±5 |
| 信号周期⑦ | μm | 20 | 4 | 20 | 4 |
| 注： 1 测量时环境温度为25ºC，取决于散热环境。 2 电阻测量采用直流电流，含0.5米标准线缆。 3 电感测量频率1kHz，AUM系列电感浮动范围较大为±40%是因为三相电感不同，样册标定数值为最大值与最小值的平均值，对于每一相电感，浮动范围为±20%。 4 测试工况无负载。测试高度距上轴安装面200mm。 5 参数为单轴 (例如： X 和 Y 轴)。 6 高性能直流驱动器。截止频率 = 1kHz。 7 更高精度编码器可定制。 ★除了适用于标准环境的运动平台，雅科贝思也提供适用于超高真空 (10-7 Torr)，带磁屏蔽的高精度运动平台。请联系cust-service@akribis-sys.cn。 相关参数规格如有变动，恕不另行通知。 | |||||
