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XYZ光纤耦合平台
XYZ均采用直线电机及高精度交叉滚柱导轨 XYZ内置高精度绝对值光栅尺,1nm光栅分辨率,重复定位精度≤±100nm,绝对定位精度(位置误差补偿后)≤±350nm; 配套专用高精度控制器,实现静态抖动(jitter)值≤±25nm,让耦合更稳定; 高速寻光,每轴速度≥350mm/s,加速度≥1g,让找光、寻光更快,效率更高;
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产品特性:

XYZ均采用直线电机及高精度交叉滚柱导轨

XYZ内置高精度绝对值光栅尺,1nm光栅分辨率,重复定位精度≤±100nm,绝对定位精度(位置误差补偿后)≤±350nm;

配套专用高精度控制器,实现静态抖动(jitter)值≤±25nm,让耦合更稳定;

高速寻光,每轴速度≥350mm/s,加速度≥1g,让找光、寻光更快,效率更高;

典型应用领域:有源/无源 光模块三维耦合设备,精密零件光学检测。


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