真空机器人关节
真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人,主要应用于半导体工业中,实现晶圆在真空腔室内的传输。
  • 项目需求
    真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人,主要应用于半导体工业中,实现晶圆在真空腔室内的传输。真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强,其成为制约了半导体装备整机的研发进度和整机产品竞争力的关键部件。

  • 解决方案

    Akribis为客户提供直驱无刷无框电机,能够满足真空环境下使用,由转子和定子组成高扭矩密度,用于机器人关节位置更加灵活、确切的运动,具有更好的控制精度。

    采用优化的磁路设计,实现更低的齿槽力,运行更加平稳。

    Akribis提供完整的型号可供选择,Akribis可以按照客户需求定制,凭借专业的直驱电机研发技术团队,可以为客户定制化开发解决方案。



  • 主要参数

    请咨询cust-service@akribis-sys.cn                                

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