Akribis提供各种类型的DDR电机,同时根据客户具体应用工况进行定制化设计。我们在半导体行业拥有很高的行业认可度,Akribis已在200mm和300mm晶圆的CMP设备上有非常成熟的应用和解决方案。针对CMP设备的DDR电机,以高扭矩密度为设计理念,用更紧凑的结构实现更高的峰值扭矩和持续扭矩;同时也优化了铁芯设计,使齿槽扭矩微型化,实现更小的速度波动。
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