雅科贝思在半导体行业解决方案上拥有丰富的行业经验，有极高的行业认可度；从电机设计、平台机械结构、电气控制、隔震系统、软件算法整体为客户提供定制化解决方案。

l  雅科贝思提供的气浮平台解决方案，具有高精度和运动稳定性。

l  XY轴通过特殊结构设计以及采用Akribis专利设计的AUM系列直线电机，这本身就保障了低速运动时更高的稳定性，和高超的同步性能。

l  Z轴采用特殊设计和ZTT特殊控制算法，实现Chuck是实时调平。

l  主动隔震系统可选。

l  雅科贝思气浮平台整个组装调试流程都在无尘室环境中进行。