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PGS-XY 系列
PGS-XY特点:堆叠XY平台;高速,高加速;高精度,高刚性;无齿槽力
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技术参数
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设计特点:

A. 堆叠XY平台

B. 高速,高加速

C. 高精度,高刚性

D. 圆晶平台

E. 无齿槽力


电机参数单位LU
电机型号-AUM4-P-S6×2AUM4-P-S5
持续推力(自冷) @100ºC①N662276
峰值推力N37441560
力常数 ±10%N/Arms7260
反电势常数 ±10%Vpeak/(m/s)58.849
相间电阻 @25ºC ±10%②Ω6.615.53
相间电感 ±20%③mH5.754.79
持续电流(自冷) @100ºC①Arms4.64.6
峰值电流Arms2626
最高母线电压Vdc330
330
电磁周期mm606060
 机械参数④⑤单位LU
精度等级-PUPPUP
有效行程mm300/350/400/450300/350/400/450
分辨率μmSINCOSSINCOS
重复定位精度μm±0.3±0.3
平面度μm55
总直线度μm7.57.5
局部直线度μm/cm±0.1±0.1
俯仰arcsec2020
俯仰重复性arcsec±0.5±0.5
横摆arcsec2020
横摆重复性arcsec±0.5±0.5
小步进nm80208020
型静态抖动⑥nm±20±5±20±5
信号周期⑦μm204204
注:

1 测量时环境温度为25ºC,取决于散热环境。

2 电阻测量采用直流电流,含0.5米标准线缆。

3 电感测量频率1kHz,AUM系列电感浮动范围较大为±40%是因为三相电感不同,样册标定数值为最大值与最小值的平均值,对于每一相电感,浮动范围为±20%。

4 测试工况无负载。测试高度距上轴安装面200mm。

5 参数为单轴 (例如: X 和 Y 轴)。

6 高性能直流驱动器。截止频率 = 1kHz。

7 更高精度编码器可定制。

除了适用于标准环境的运动平台,雅科贝思也提供适用于超高真空 (10-7 Torr),带磁屏蔽的高精度运动平台。请联系cust-service@akribis-sys.cn。

相关参数规格如有变动,恕不另行通知。


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